MACEX-STX-A1 手套箱

验收方法:

(1)更换99.999%惰性气源后，净化系统开启，箱内水、氧含量≤1ppm(以触摸屏显示数据为准)。

(2)当手套箱达到水氧≤1ppm时，关闭气体净化系统:箱内水氧含量上升≤10ppm/H，视为达到泄漏率≤0.001vol%/ H。

2.系统实现的功能:

手动/自动控制柜压力;

手/自动控制系统净化状态;

自动控制气体净化系统还原过程;

程控系统运行错误及警告提示;

系统控制参数设定;

检查系统历史;

系统执行器工况检测;

触摸屏即时显示箱体的压力值、含水量值、氧含量值。

还原再生:净化系统使用可还原再生的净化物料，还原过程由系统自动控制;在还原和再生过程中必须提供电源和氢气(5-10%)和惰性气体的混合物。

3.手套箱电源要求(共需要2个电源接口):

第一个:220V 16A(为手套箱供电)。

第二支:220V 10A(为手套箱电源插座供电)。